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スパッタリング・蒸着治具用ブラストマシン
2001年1月25日 ㈱ニッチュー 営業部
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| スパッタリングや蒸着冶具には強固な皮膜が付着しています。冶具全体や、冶具を分解してエアーブラストで皮膜を剥離するのが一般的な方法です。 |
| 最適なブラスト方法の選択 |
| 皮膜の硬さや厚さには様々な種類がありますので､皮膜の状態に応じたブラストマシンの種類と研削材を選定する必要があります。 |
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| 圧方式直による剥離 |
| 強固で厚い皮膜には直圧式エアーブラストを使用して､アルミナ（モランダム又はホワイトモランダム）の＃１６～２４の粗い粒子を使用します。一般的に直圧式は大馬力のコンプレッサーエアーを使用し、強力な衝撃力、高い噴射スピードと多量の噴射量が得られるので、広い面積を短時間で剥離する場合や強固で厚い皮膜を処理するには最適な方式です。 |
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| サクション方式による剥離 |
| 皮膜の種類や薄い皮膜には十分､サクション式で皮膜剥離が可能な場合があります。サクション式はブラストホースも柔らかく､ノズルも小型ですので作業者の負担を軽減することが出来ます。又、コンプレッサーも小馬力で済み、研削材も小粒径の＃３６～６０を使用することが出来る場合もあり、冶具の表面を不必要に荒らさず、冶具の消耗も減少することが出来ます。機械価格も直圧式に比べてコストパフォーマンスに優れています。 |
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| 機種選定とテストの実施 |
| 新たに冶具剥離を実施される場合や現在すでに実施されている場合も比較試験を実施されて、より有効な方法や機種を選定してください。 |
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サクション式
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直圧式
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ニッチューは豊富な冶具剥離の実績の中からユーザーに最適な方式をお勧めすることができます。
ぜひ、ご相談ください。
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| ℡.03－3861－3151
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