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| ２００１年８月１６日 営業2部 | ||||||||||||||||
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１．経緯 |
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| 弊社は昭和３４年創業、爾来４０有余年、金属表面を主流に様々な素材の界面に物理的エネルギーを付与するドライ方式のブラストマシンを製作して参りました。 その間弊社は、モータリゼーション、建設ラッシュ、新素材ブーム、家電革命という時代の流れに合致した専用機をすべからく標準シリーズ化することに尽力して参りました。 そして、今、IT戦略の土台を担うべく、鋭意開発に取組んだ結果、ここに半導体製造装置の部品用として、6軸ロボットによる微粉末噴射用ブラストマシンPAM-700の販売と請負（委託）加工の御紹介を致します。 |
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| IT産業を支える精密部品群、半導体製造装置、および一連の加工技術は押しなべて、その寸法精度、加工精度、安定性を要求され、当然それらの下地処理である表面研削、取分けブラスト加工も、従来の数μｍレベルの表面粗度からサブミクロンオーダーのものが要求され、弊社においてアルミナや炭化珪素などの＃１０００～４０００（１６～３μｍ）の超微粉をドライ環境下で、大量、且つ、安定的に噴射可能な装置群が開発されました。 | ||||||||||||||||
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２．システム |
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| 周知のごとく超微粉は、その自らの流動特性から、ドライ環境化では、安定した噴射が難しく、以前の噴射量は±５０％（連続噴射中）レベルのバラツキがあり、とても半導体部品の精密加工に供されるものではありませんでした。そこで、安定且つ定量的な供給システムとして、微粉用サイクロン、小型パルス集塵機、突崩し用パドリング装置、切出し用ヘリカル装置、吸引用計量カップ、圧力制御装置等を組み合わせ、また、研削材毎の流動性に適合するように、各々調整機能やヒーターおよび量検知機能を保たせました。その結果、ノズル１本当り数百ｇの噴射量に対し±１％の安定性が得られ、最大１２本取りまでの装置が製作可能となりました。 | ||||||||||||||||
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３．特徴 |
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４．主仕様 |
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| ６軸ロボット制御微粉末用PAM-700の仕様は以下の通りです。 | ||||||||||||||||
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５．微粉加工シリーズ（機名のＡＭは吸引式を表します） |
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| 上記のPAM－７００の他に次の機種が、テストおよび請負加工用（委託加工）として弊我孫子工場と栃木工場にそれぞれ設置されており、ブラストメーカーならではの、高ＳＰＥＣ．対応でご好評いただいております。また、この他に一般粒子用（＃４００以上）の加工機は、常時３０数台配備されており、家電部品、サッシ関連、化粧品等向けに各種アルマイト、コーティング、ライニングの下地やクリーニング用に活躍しております。 | ||||||||||||||||
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