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微粉末用ブラスト加工

6軸ロボットによる微粉末噴射用ブラストマシンPAM-700

システム

超微粉は、その自らの流動特性から、ドライ環境化では、安定した噴射が難しく、以前の噴射量は±５０％（連続噴射中）レベルのバラツキがあり、半導体部品の精密加工に供されるものではありませんでした。
そこで、安定且つ定量的な供給システムとして、微粉用サイクロン、小型パルス集塵機、突崩し用パドリング装置、切出し用ヘリカル装置、吸引用計量カップ、圧力制御装置等を組み合わせ、また、研削材毎の流動性に適合するように、各々調整機能やヒーターおよび量検知機能を保たせました。その結果、ノズル１本当り数百ｇの噴射量に対し±１％の安定性が得られ、最大１２本取りまでの装置が製作可能となりました。

特徴

安定噴射ノズルを６軸ロボット等に把持させることにより、ブラスト効果の重要因子である、噴射距離、噴射角度、位相制御等をも自在に操つることが可能となり、その適合範囲は、半導体部品や製造装置部品にまで広げられました。
また、微細部品の場合は、ノズルの方を固定し、製品側を移動させることも可能であります。

PAM-700

1.最大有効寸法 800×800×600mm
2.噴射量 40～300ｇ/min（使用研削材によって異なる）
3.ノズル本数 １本、ボロン製
4.移載装置 ６軸ロボット、ティーチングプレイバック方式
5.総駆動 ８ｋｗ（コンプレッサー関係は除く）３相　200V　50Hz
6.制御盤 自立式タッチパネル、液晶画面9.5インチ
7.システム オールインワン（コンプレッサー関係は除く）

DMX-100

PAM-700

PAM-700 特

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